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特氣系統(tǒng)（可燃性、自燃性、毒性、氧化性、腐蝕性特種氣體）壓力試驗完成后，應進行氦檢漏試驗，并按要求做好記錄。試驗完成后，應提交測試報告。同時，特種氣體系統(tǒng)還需要做particle（顆粒度）、水分（Moisture）、氧分等的測試。

三項檢測：

顆粒度測試，其氣體流量應根據管道直徑確定，測試氣源的顆粒數應在規(guī)定顆粒粒徑狀態(tài)為零。測試氣體中大于0.1μm~0.3μm的顆粒數應小于或等于35顆粒

/m3，連續(xù)三次達標為合格。

水分測試，氣體速度應低于設計流速的10%，且小于3m/s,測試氣源的水分應小于1ppbv，水分增量應小于20ppbv，測試結束后，應至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。

特種氣體系統(tǒng)氧分測試，氣體速度低于設計流速的10%，且小于3m/s，試氣源的氧分應小于1ppbv，氧分增量應小于20ppbv，測試結束后，應至少保持20min穩(wěn)定在規(guī)定值以下為合格。

三項檢測完成后，需要提交測試報告，且需要用標準格式，詳見附件：

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